近日，北京电控所属北方华创第1000台立式炉正式出厂。这一成果不仅标志着该企业立式炉产品取得了飞跃性进展，更体现出中国集成电路设备制造实力的显著提升。
立式炉作为集成电路制造过程中的关键设备，主要应用于前道氧化、扩散和退火等热处理工艺环节，直接影响半导体器件的性能。同时，立式炉可批量处理晶圆，提高生产效率，在当前集成电路生产中占据着越来越重要的位置。SEMI数据显示，2024年立式炉全球市场规模已达32亿美元。
北方华创自2010年将首台立式炉交付客户后，在过去的十余年里，北方华创的立式炉经客户端严格验证，成功实现大规模量产，广泛覆盖逻辑、存储、功率、先进封装及大硅片生产等关键领域。2020年，北方华创第100台立式炉交付，2023年6月，第500台立式炉交付，仅一年零六个月后，第1000台立式炉正式交付。千台立式炉成功出厂，不仅体现了“华创速度”，也是北方华创技术革新与品质坚守的有力见证，更是中国半导体设备制造业迈向世界前列的坚实一步。
北方华创立式炉的成功，得益于公司在技术层面的不断创新和突破。立式炉设备凭借高精度的温度控制能力、良好的成膜均匀性以及先进的金属及颗粒污染控制技术，大幅提升了芯片良品率。近年来，北方华创开发了一系列立式炉新技术，进一步巩固了自身在行业中的技术领先地位。未来，北方华创将在集成电路设备的新征程中继续领航破浪。
